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发明名称 KORPUSKULARSTRAHLOPTISCHES GERAET ZUR ABBILDUNG EINER MASKE AUF EIN PRAEPARAT
摘要
申请公布号 DE2702444(A1) 申请公布日期 1978.07.27
申请号 DE19772702444 申请日期 1977.01.20
申请人 SIEMENS AG 发明人 LISCHKE,BURKHARD,DR.-ING.;OELMANN,ANDREAS,DR.-ING.;FROSIEN,JUERGEN,DIPL.-ING.
分类号 H01L21/027;H01J37/30;H01J37/304;(IPC1-7):H01L21/26;H01J3/10;H01J37/28;H01L21/82 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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