SELECTIVE ETCHING METHOD,申请号JP19770000665-传众专利搜索

发明名称	SELECTIVE ETCHING METHOD
摘要
申请公布号	JPS5385171(A)	申请公布日期	1978.07.27
申请号	JP19770000665	申请日期	1977.01.06
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	MATSUKAWA TAKAYUKI;KAWAZU SATORU
分类号	H01L21/306;H01L21/302	主分类号	H01L21/306
代理机构		代理人
主权项
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