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发明名称 PRODUCTION OF MOS TYPE FIELD EFFECT SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5385179(A) 申请公布日期 1978.07.27
申请号 JP19770000651 申请日期 1977.01.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YOSHIHARA TSUTOMU
分类号 H01L29/78;H01L21/28 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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