发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5385161(A) 申请公布日期 1978.07.27
申请号 JP19760158056 申请日期 1976.12.31
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMAMURA EIJI;YOKOGAWA SHIGERU;HISATSUGU NORISHIGE
分类号 H01L21/52;H01L21/58 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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