| 发明名称 |
MATCHING DEVICE FOR POSITION UTILIZING XXRAY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5385281(A) |
申请公布日期 |
1978.07.27 |
| 申请号 |
JP19770000605 |
申请日期 |
1977.01.07 |
| 申请人 |
NIPPON CHEMICAL IND |
发明人 |
SAKAYANAGI YOSHIMI;KAZAMA TSUNEYUKI |
| 分类号 |
G05D3/12;G05D3/00;H01L21/68 |
主分类号 |
G05D3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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