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发明名称
ION SOURCE
摘要
申请公布号
JPS5385149(A)
申请公布日期
1978.07.27
申请号
JP19770000038
申请日期
1977.01.05
申请人
HITACHI LTD
发明人
HOSAKA SUMIO
分类号
H01J3/04;H01J27/00;H01J37/08;H05H7/08
主分类号
H01J3/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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