PLASMA ETCHING DEVICE,申请号JP19760160638-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	PLASMA ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号	JPS5384684(A)	申请公布日期	1978.07.26
申请号	JP19760160638	申请日期	1976.12.29
申请人	FUJITSU LTD	发明人	TOKUNAGA HIROSHI;TOYOKURA NOBUO;SHINODA MASAICHI
分类号	H01L21/302	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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