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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5391467(U) 申请公布日期 1978.07.26
申请号 JP19760176384U 申请日期 1976.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/52;H01L21/58;H01L21/60;H01L23/04;H01L23/48;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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