发明名称 VASTE STOF BEELDOPNEEMINRICHTING.
摘要
申请公布号 NL7800848(A) 申请公布日期 1978.07.26
申请号 NL19780000848 申请日期 1978.01.24
申请人 HITACHI LIMITED TE TOKIO. 发明人
分类号 H01L27/146;(IPC1-7):H01L27/14 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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