发明名称 PIEZOOELECTRIC ELEMENT POLISHED STATE DETECTOR
摘要
申请公布号 JPS5384590(A) 申请公布日期 1978.07.26
申请号 JP19760160453 申请日期 1976.12.29
申请人 SEIKOSHA KK 发明人 MORIYA NAKANOBU
分类号 G01R29/22;B23Q17/09;B24B49/00;G01R31/00;H03H3/02;H03H3/04 主分类号 G01R29/22
代理机构 代理人
主权项
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