发明名称 ALUMINUM OXIDE SUBSTRATE STRUCTURE AND METHOD OF PRODUCING SAME
摘要
申请公布号 JPS5384463(A) 申请公布日期 1978.07.25
申请号 JP19770117757 申请日期 1977.09.29
申请人 RCA CORP 发明人 JIYOSEFU MIKAERU SHIYOO;MIKAERU TOOMASU DAFUI
分类号 C30B25/18;C30B29/20;H01L21/205;H01L21/86 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
主权项
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