发明名称 |
ALUMINUM OXIDE SUBSTRATE STRUCTURE AND METHOD OF PRODUCING SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5384463(A) |
申请公布日期 |
1978.07.25 |
申请号 |
JP19770117757 |
申请日期 |
1977.09.29 |
申请人 |
RCA CORP |
发明人 |
JIYOSEFU MIKAERU SHIYOO;MIKAERU TOOMASU DAFUI |
分类号 |
C30B25/18;C30B29/20;H01L21/205;H01L21/86 |
主分类号 |
C30B25/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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