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发明名称 EXPOSURE METHOD FOR ELECTRONIC LINE RESIST
摘要
申请公布号 JPS5384476(A) 申请公布日期 1978.07.25
申请号 JP19760160233 申请日期 1976.12.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAWASHIMA KENICHI;ISHIWATARI HIROYUKI
分类号 H01L21/027;H01L21/302 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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