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经营范围
发明名称 ELECTRON BEAM MICROFABRICATION APPARATUS
摘要
申请公布号 US4103168(A) 申请公布日期 1978.07.25
申请号 US19770815302 申请日期 1977.07.13
申请人 CAMBRIDGE SCIENTIFIC INSTRUMENTS LIMITED 发明人 STURROCK, JOHN MONRO;WALLMAN, BERNARD ALLAN
分类号 H01J37/30;H01J37/304;(IPC1-7):G21K5/06 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
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