发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5383483(A) 申请公布日期 1978.07.22
申请号 JP19760159190 申请日期 1976.12.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAWABE YUUNOSUKE;SANO NOBUHIRO;AKATSUKA TSUTOMU;MAKABE KUNIAKI;TABATA AKIRA
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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