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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5324793(B1) 申请公布日期 1978.07.22
申请号 JP19760079178 申请日期 1976.07.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/74;H01L21/331;H01L27/02;H01L29/73;(IPC1-7):H01L27/02 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
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