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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5324789(B2)
申请公布日期
1978.07.22
申请号
JP19760094046
申请日期
1976.08.09
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;H01L21/68
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
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