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发明名称 EVALUATING METHOD OF ORGANIC PROTECTING FILM OF SEMICONDUCTOR ELEMANT
摘要
申请公布号 JPS5383466(A) 申请公布日期 1978.07.22
申请号 JP19760159453 申请日期 1976.12.28
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SAGA MISAO;IWAKI TETSUO
分类号 H01L21/66;H01L21/312 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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