发明名称 SEMIIINSULATING GALLIUM ARSENIDE SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS5382699(A) 申请公布日期 1978.07.21
申请号 JP19760159130 申请日期 1976.12.28
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES 发明人 AKAI SHINICHI;NISHIDA YASUHIRO;FUJITA KEIICHIROU
分类号 C30B11/06;C30B29/40;C30B29/42;H01L21/18;H01L21/208 主分类号 C30B11/06
代理机构 代理人
主权项
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