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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5389169(U)	申请公布日期	1978.07.21
申请号	JP19760172306U	申请日期	1976.12.21
申请人		发明人
分类号	B05C11/08;B05C11/10;H01L21/027;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312	主分类号	B05C11/08
代理机构		代理人
主权项
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