发明名称
摘要
申请公布号 JPS5389168(U) 申请公布日期 1978.07.21
申请号 JP19760170824U 申请日期 1976.12.22
申请人 发明人
分类号 C23F1/08;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/465;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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