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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5324311(B2)
申请公布日期
1978.07.20
申请号
JP19750017335
申请日期
1975.02.10
申请人
发明人
分类号
H01L27/06;H01L21/8222;H01L27/00;H01L29/00;H01L29/866
主分类号
H01L27/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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