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发明名称
LANGBRENNWEITIGE MAGNETISCHE LINSE ZUR KORPUSKULARSTRAHLOPTISCHEN ABBILDUNG EINES GROSSFLAECHIGEN OBJEKTES
摘要
申请公布号
DE2702439(A1)
申请公布日期
1978.07.20
申请号
DE19772702439
申请日期
1977.01.19
申请人
SIEMENS AG
发明人
STURM,MATTHIAS,DIPL.-ING.;LISCHKE,BURKHARD,DR.-ING.
分类号
H01J37/141;H01J37/15;(IPC1-7):H01J37/14;H01L21/26;H01L21/82
主分类号
H01J37/141
代理机构
代理人
主权项
地址
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