发明名称 LANGBRENNWEITIGE MAGNETISCHE LINSE ZUR KORPUSKULARSTRAHLOPTISCHEN ABBILDUNG EINES GROSSFLAECHIGEN OBJEKTES
摘要
申请公布号 DE2702439(A1) 申请公布日期 1978.07.20
申请号 DE19772702439 申请日期 1977.01.19
申请人 SIEMENS AG 发明人 STURM,MATTHIAS,DIPL.-ING.;LISCHKE,BURKHARD,DR.-ING.
分类号 H01J37/141;H01J37/15;(IPC1-7):H01J37/14;H01L21/26;H01L21/82 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
地址