发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5382264(A) 申请公布日期 1978.07.20
申请号 JP19760157550 申请日期 1976.12.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 AKANUMA OSAMU;KOTANI KOUICHIROU
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址