发明名称 LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH METHOD
摘要 <p>PURPOSE:To surely prevent the oxidation of constituent with simple method, in performing the liquid epitaxial growth including the constituent easily oxidized such as Al.</p>
申请公布号 JPS5382164(A) 申请公布日期 1978.07.20
申请号 JP19760159920 申请日期 1976.12.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NISHITANI YORIMITSU
分类号 C30B19/00;C30B29/40;H01L21/208;H01L33/30 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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