发明名称 METHOD AND CIRCUIT FOR RECOGNIZING PATTERN
摘要
申请公布号 JPS5382244(A) 申请公布日期 1978.07.20
申请号 JP19760157968 申请日期 1976.12.28
申请人 SHINKAWA SEISAKUSHO KK 发明人 YAMAZAKI MIKIYA
分类号 H01L21/60;C21D9/52;G06T1/00 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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