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经营范围
发明名称
CORPUSCULAR BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号
GB1518051(A)
申请公布日期
1978.07.19
申请号
GB19760038704
申请日期
1976.09.17
申请人
SIEMENS AG
发明人
分类号
H01J37/20;(IPC1-7):H01J37/20;G05D3/00;H01J37/26
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
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