| 发明名称 |
PRODDUCTION OF SILICONNCONTAINED ALUMINUM WIRINGS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5381094(A) |
申请公布日期 |
1978.07.18 |
| 申请号 |
JP19760156530 |
申请日期 |
1976.12.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TOMOSAWA AKIHIRO;NARUSHIMA MASACHIKA;SHIRATO TAKESHI |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01B1/00;H01B1/02;H01L21/28;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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