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发明名称 MANUFACTURE OF MASK
摘要 PURPOSE:To produce a mask with only the metal thin film and without the glass substrate.
申请公布号 JPS5380973(A) 申请公布日期 1978.07.17
申请号 JP19760156446 申请日期 1976.12.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ISHIYOSHI TOSHIKIYO
分类号 G03F1/00;G03F1/68;G03F1/80;H01L21/027;H01L21/302 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
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