发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5380175(A) 申请公布日期 1978.07.15
申请号 JP19760156768 申请日期 1976.12.25
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ABE SHIGEHARU;KAWABE YUUNOSUKE;TABATA AKIRA
分类号 H01L21/76;H01L21/331;H01L29/73 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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