发明名称 SPECIMEN TILTING DEVICE FOR PARTICLE BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 US3444367(A) 申请公布日期 1969.05.13
申请号 USD3444367 申请日期 1965.06.29
申请人 SIEMENS AG. 发明人 ALEXANDER ASMUS
分类号 H01J37/20;(IPC1-7):H01J37/26 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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