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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5380165(A) 申请公布日期 1978.07.15
申请号 JP19760156769 申请日期 1976.12.25
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAGATA KOUHEI;SHIBATOMI AKIHIRO;YOKOYAMA NAOKI
分类号 H01L21/66;H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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