发明名称 COMPOSITION DE DECAPAGE DU SILICIUM
摘要 <P>Composition de décapage du silicium. </P><P>Cette composition comprend des ions fluorure et des atomes d'oxygène dans une solution aqueuse dont le pH est compris entre 6 et 8,2. </P><P>Application à la fabrication des dispositifs à semi-conducteurs.</P>
申请公布号 FR2374396(A1) 申请公布日期 1978.07.13
申请号 FR19770033078 申请日期 1977.10.24
申请人 IBM 发明人 CHENG-YIH LIU
分类号 C23F1/10;C09K13/08;C23F1/24;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/316;(IPC1-7):C09K13/08;H01L21/30 主分类号 C23F1/10
代理机构 代理人
主权项
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