发明名称 PROCEDE PERFECTIONNE POUR LA PURIFICATION DU SILANE
摘要 <P>Procédé perfectionné pour purifier du silane industriel par passage dans une série de zones dans un système fermé </P><P>On fait passer le silane impur à l'état gazeux dans une zone contenant du charbon adsorbant à une température d'environ - 40 degrés C à - 80 degrés C; on envoie le mélange gazeux dans une zone contenant du silicate de magnésium adsorbant à une température d'environ - 40 à - 80 degrés C; on envoie ensuite le mélange gazeux dans une zone de distillation d'où l'on évacue en tête les impuretés à l'état gazeux et en pied de distillation liquide au moins 95 % en poids du silane contenu dans le produit de départ, qu'on recueille. </P><P>Le silane purifie conformément à l'invention répond aux exigences de pureté fixées par les industries électroniques pour la préparation du silicium.</P>
申请公布号 FR2374264(A1) 申请公布日期 1978.07.13
申请号 FR19770037850 申请日期 1977.12.15
申请人 UNION CARBIDE CORP 发明人
分类号 C01B33/04;(IPC1-7):C01B33/04 主分类号 C01B33/04
代理机构 代理人
主权项
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