发明名称 METHOD FOR PRODUCING THIN FILMS OF RARE EARTH CHALCOGENIDES
摘要
申请公布号 US3451845(A) 申请公布日期 1969.06.24
申请号 USD3451845 申请日期 1966.05.31
申请人 INTERN. BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 CLAUS C. SCHULER
分类号 C01B19/00;C01F17/00;C23C8/08;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/24;C23C14/58;H01J37/305;(IPC1-7):C23F17/00;C23C13/02;C07F11/00 主分类号 C01B19/00
代理机构 代理人
主权项
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