发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING THIN FILMS OF RARE EARTH CHALCOGENIDES |
摘要 |
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申请公布号 |
US3451845(A) |
申请公布日期 |
1969.06.24 |
申请号 |
USD3451845 |
申请日期 |
1966.05.31 |
申请人 |
INTERN. BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
CLAUS C. SCHULER |
分类号 |
C01B19/00;C01F17/00;C23C8/08;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/24;C23C14/58;H01J37/305;(IPC1-7):C23F17/00;C23C13/02;C07F11/00 |
主分类号 |
C01B19/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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