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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5379377(A) 申请公布日期 1978.07.13
申请号 JP19760156842 申请日期 1976.12.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUKUMOTO MASANORI
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/308 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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