发明名称 RELIABILITY TESTING METHOD FOR SIMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5379467(A) 申请公布日期 1978.07.13
申请号 JP19760155790 申请日期 1976.12.24
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SAKAI HIROSHI;ARIMURA KENICHI;KOBAYASHI TSUNEHIRO
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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