| 发明名称 |
ETCHING METHOD THAT PREVENT SIDE ETCH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5377848(A) |
申请公布日期 |
1978.07.10 |
| 申请号 |
JP19760153945 |
申请日期 |
1976.12.21 |
| 申请人 |
SHOWA DENKO KK |
发明人 |
MURAKAWA TAKAO;YAMASATO SHIGEKI;TANABE HIROSHI;KIKUCHI SHINICHI |
| 分类号 |
C23F1/00;C23F1/02;G03F7/40 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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