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发明名称 PRODUCTION OF PHOTO MASK
摘要 PURPOSE:To make a photo mask by averting the appearance of defects even if original plates having stains, flaws and other defects are used.
申请公布号 JPS5376756(A) 申请公布日期 1978.07.07
申请号 JP19760152044 申请日期 1976.12.20
申请人 SONY CORP 发明人 OGAWA KAZUAKI
分类号 G03F1/00;G03F1/76;H01L21/027;H01L21/302 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
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