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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5376663(A)
申请公布日期
1978.07.07
申请号
JP19760152178
申请日期
1976.12.18
申请人
SANYO ELECTRIC CO
发明人
MINATO TETSUO
分类号
C23C16/44;H01L21/316
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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