发明名称 FORMING METHOD FOR OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPS5376179(A) 申请公布日期 1978.07.06
申请号 JP19760152324 申请日期 1976.12.17
申请人 SEIKO INSTR & ELECTRONICS 发明人 AKIWA TANIMASA
分类号 C23C14/06;C23C14/08 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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