发明名称 HF-INDUKTIONSHEIZUNGSEINRICHTUNG ZUM ZONENSCHMELZEN VON HALBLEITERN
摘要
申请公布号 DE2757868(A1) 申请公布日期 1978.07.06
申请号 DE19772757868 申请日期 1977.12.23
申请人 MONSANTO CO. 发明人 OSCAR GREGORY,ROBERT;PRASAD GUPTA,KEDAR
分类号 C30B13/20;H01L21/208;H05B6/36;(IPC1-7):B01J17/10 主分类号 C30B13/20
代理机构 代理人
主权项
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