发明名称 |
HF-INDUKTIONSHEIZUNGSEINRICHTUNG ZUM ZONENSCHMELZEN VON HALBLEITERN |
摘要 |
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申请公布号 |
DE2757868(A1) |
申请公布日期 |
1978.07.06 |
申请号 |
DE19772757868 |
申请日期 |
1977.12.23 |
申请人 |
MONSANTO CO. |
发明人 |
OSCAR GREGORY,ROBERT;PRASAD GUPTA,KEDAR |
分类号 |
C30B13/20;H01L21/208;H05B6/36;(IPC1-7):B01J17/10 |
主分类号 |
C30B13/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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