发明名称
摘要
申请公布号 DE2509108(B2) 申请公布日期 1978.07.06
申请号 DE19752509108 申请日期 1975.03.03
申请人 BOKOV, JURY SERGEEVITSCH 发明人 BOKOV, JURY SERGEEVITSCH
分类号 C03C21/00;C03C23/00;G03F1/00;(IPC1-7):G03FX/;H01L21/31;H01L21/70 主分类号 C03C21/00
代理机构 代理人
主权项
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