| 发明名称 |
APPARATUS FOR MEASURING THE EVAPORATION RATE IN VACUUM VAPOUR DEPOSITION PROCESSES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1516395(A) |
申请公布日期 |
1978.07.05 |
| 申请号 |
GB19750025261 |
申请日期 |
1975.06.12 |
| 申请人 |
LEYBOLD HERAEUS VERWALTUNG |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/54;G01F1/64;G01N27/64;(IPC1-7):G01F1/64;C23C13/00;G05D5/03 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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