| 发明名称 |
PRODUCTION METHOD OF THIN FILM RESISTOR |
| 摘要 |
PURPOSE:To stabilize resistance by evaporating zirconium boride with electron beam onto substrate of selected temperature then applying thermal processing under selected temperature. |
| 申请公布号 |
JPS5374294(A) |
申请公布日期 |
1978.07.01 |
| 申请号 |
JP19760150217 |
申请日期 |
1976.12.14 |
| 申请人 |
CANON KK |
发明人 |
NIIMI AKIRA;SHIRATO YOSHIAKI;FUKUI MASAHISA;HARA TOSHITAMI;HAJIMOTO YOSHIKI |
| 分类号 |
H01C17/08;C23C14/06 |
主分类号 |
H01C17/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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