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发明名称
PLASMA CVD DEVICE
摘要
PURPOSE:To ensure a formation of a uniform and good-quality accumulation film by making differ partially the space between a pair of opposite electrodes.
申请公布号
JPS5374372(A)
申请公布日期
1978.07.01
申请号
JP19760149697
申请日期
1976.12.15
申请人
HITACHI LTD
发明人
KADOTA KAZUYA
分类号
C23C16/50;C23C16/509;H01L21/268;H01L21/31
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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