发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5373970(A) 申请公布日期 1978.06.30
申请号 JP19760150117 申请日期 1976.12.13
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMAMOTO TAKESHI;ICHIMURA TAKAHIKO
分类号 H01L21/316;H01L29/74 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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