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发明名称
摘要
申请公布号 FR2318499(B1) 申请公布日期 1978.06.30
申请号 FR19760021404 申请日期 1976.07.13
申请人 WACKER CHEMITRONIC ELEKTRONIK 发明人
分类号 H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/30;B24B37/00;B28D5/06 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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