发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelementes
摘要
申请公布号 DE1564702(A1) 申请公布日期 1970.03.05
申请号 DE19661564702 申请日期 1966.09.09
申请人 SIEMENS AG 发明人 KURT RAITHEL,DR.RER.NAT.;REIMER EMEIS,DR.
分类号 H01L21/00;H01L21/304;H01L23/488;H01L29/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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