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发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5372482(A) 申请公布日期 1978.06.27
申请号 JP19760148244 申请日期 1976.12.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TSUJI KAZUHIKO;KONDOU SHIYUUJI;IYORI MASAHARU;HORIUCHI SHIROU
分类号 H01L23/522;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/768;H01L29/78 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
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