发明名称 STRUTTURA DI FOTORESISTPARTICOLARMENTE ADATTA PER LA DEPOSIZIONE FOTOLITOGRAFICA DI STRISCE METALLICHE PARALLELE SU UN SUBSTRATO DI BASE E PROCEDIMENTO PER LA SUA REALIZZAZIONE.
摘要
申请公布号 IT7824955(D0) 申请公布日期 1978.06.26
申请号 IT19780024955 申请日期 1978.06.26
申请人 CISE CENTRO INFORMAZIONI STUDI ESPERIENZE S.P.A. 发明人 DONZELLI GIAMPIERO
分类号 G03F7/38;H01L21/027;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/338;(IPC1-7):G03F/ 主分类号 G03F7/38
代理机构 代理人
主权项
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